该厂为8屏幕尺寸晶圆的流水线服务设施的超净水体统,定期造成含硅废污水150吨。废污自来水中虽无血本属,但硅分子量高易水垢,且电阻功率率需起到18MΩ·cm也能使用。原本正确处理工学艺无非具备新制定的《手机企业水造成的废水产生规则》(GB39731-2020)尤为产生标准值。
废污水营养成分特质
主要废弃物物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(颗粒直径0.1-1μm)
特色追求
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
饮用水质基本特征
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物基本特征繁杂
外理工艺设备流程图
技术创新适用"梯级膜剥离+电去化合物"组合构成工艺技术:
微滤预清理
:1μm工业陶瓷膜短信拦截大颗粒状硅,通量保证80LMH
正离子互换硅橡胶
:D201大孔不饱和树脂决定性溶解硅酸原子
二次RO平台
:弟一段回笼率60%,其二段适用高脱硼膜元器件
EDI电去铝离子
:电流量规格2A/m²,长期清除残留正离子
紫外光除臭
:254nm红外光谱线使用量40mJ/cm²
枝术突出
设计规划转用阻硅剂(设计胺类结合物),延长时间膜污染源定期3倍
EDI传感器企业创新流道结构设计,硅清理率升降至99.8%
一直在线硅探讨仪(测定时间范围0.1-500μg/L)保证深度贫困保持
运营功效
经第四方检侧:
总硅从280mg/L调至0.05mg/L
硼量从8μg/L降下来0.3μg/L
系统的利用率从原40%加强至68%
膜修改周期怎么算延长了至5年,年启用人工成本下降35%