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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8屏幕尺寸晶圆的流水线服务设施的超净水体统,定期造成含硅废污水150吨。废污自来水中虽无血本属,但硅分子量高易水垢,且电阻功率率需起到18MΩ·cm也能使用。原本正确处理工学艺无非具备新制定的《手机企业水造成的废水产生规则》(GB39731-2020)尤为产生标准值。 废污水营养成分特质 主要废弃物物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(颗粒直径0.1-1μm) 特色追求 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 饮用水质基本特征 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物基本特征繁杂 外理工艺设备流程图 技术创新适用"梯级膜剥离+电去化合物"组合构成工艺技术: 微滤预清理 :1μm工业陶瓷膜短信拦截大颗粒状硅,通量保证80LMH 正离子互换硅橡胶 :D201大孔不饱和树脂决定性溶解硅酸原子 二次RO平台 :弟一段回笼率60%,其二段适用高脱硼膜元器件 EDI电去铝离子 :电流量规格2A/m²,长期清除残留正离子 紫外光除臭 :254nm红外光谱线使用量40mJ/cm² 枝术突出 设计规划转用阻硅剂(设计胺类结合物),延长时间膜污染源定期3倍 EDI传感器企业创新流道结构设计,硅清理率升降至99.8% 一直在线硅探讨仪(测定时间范围0.1-500μg/L)保证深度贫困保持 运营功效 经第四方检侧: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼量从8μg/L降下来0.3μg/L 系统的利用率从原40%加强至68% 膜修改周期怎么算延长了至5年,年启用人工成本下降35%

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