某半导体技术鑫霖环保芯片打造厂在晶圆加工制作操作过程中,选择硅烷完成硅本质发芽,空气干洗塔造成高浓硫酸浓度含硅废液。废液享有pH下降大(2-11)、硅硫含量高的优点,过去的处里措施易突然出现硅垢不通情况。
废水处理工艺材质及来原
生产废水关键含量为:
溶解出来性硅酸盐
:SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L
盐酸/氢阳极氧化钠
:洗衣塔酸碱度洗衣液残留物
颗粒剂硅
:纳米级级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:原材料悬浮物携带
工作新工艺环节
科技创新运用"两极中合+膜净化+汽化晶粒"技术:
4级中合
:用CaO调结pH至4-5,提取硅酸钙沉淀物,硅的还原率60%。
五级采和
:加Na₂CO₃将pH增加至9,进一歩石雕文化沉淀结余硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置系统软件
:0.02μm瓷器膜过滤系统纳米技术级硅粒状,通量固定在80LMH。
MVR化掉器
:浓缩液高盐废渣,晶粒出Na₂SO₄副厂品,水中水回用率超90%。
既定疗效
总硅从1500mg/L减少为5mg/L下
砷含氧量从0.8mg/L调至0.01mg/L
模式无积灰启用少于2年
常年二手回收磷酸钠结晶体约800吨