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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体技术鑫霖环保芯片打造厂在晶圆加工制作操作过程中,选择硅烷完成硅本质发芽,空气干洗塔造成高浓硫酸浓度含硅废液。废液享有pH下降大(2-11)、硅硫含量高的优点,过去的处里措施易突然出现硅垢不通情况。 废水处理工艺材质及来原 生产废水关键含量为: 溶解出来性硅酸盐 :SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢阳极氧化钠 :洗衣塔酸碱度洗衣液残留物 颗粒剂硅 :纳米级级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :原材料悬浮物携带 工作新工艺环节 科技创新运用"两极中合+膜净化+汽化晶粒"技术: 4级中合 :用CaO调结pH至4-5,提取硅酸钙沉淀物,硅的还原率60%。 五级采和 :加Na₂CO₃将pH增加至9,进一歩石雕文化沉淀结余硅,串联用镁剂除砷。 反渗透装置系统软件 :0.02μm瓷器膜过滤系统纳米技术级硅粒状,通量固定在80LMH。 MVR化掉器 :浓缩液高盐废渣,晶粒出Na₂SO₄副厂品,水中水回用率超90%。 既定疗效 总硅从1500mg/L减少为5mg/L下 砷含氧量从0.8mg/L调至0.01mg/L 模式无积灰启用少于2年 常年二手回收磷酸钠结晶体约800吨

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